描述

尼康公司非常自豪地推出了MM-400/800系列测量显微镜,这款产品融合了下一代先进测量显微镜的关键性能特征:

  • 更大的准确性
  • 数字成像和视觉处理计量
  • 更大的工作台,增加工件处理
  • 非接触z高度测量
  • 与数据处理系统DP-E1协调

10 .可用于不同应用的主体

大行程级(最大,300mm x 200mm x 200mm)
MM-800/LM:电动Z轴
MM-800/L:内置Z线性比例尺
MM-800/: 2轴测量模式
MM-800/S:用于第三方DRO
MM-800/SL:用于内置Z线性Scale的第三方DRO
适用于小行程级(最大150mm x 100mm x 150mm)
MM-400/LM:电动Z轴
MM-400/L:内置Z线性比例尺
MM-400/: 2轴测量模型
MM-400/S:适用于第三方DRO
MM-400/SL:用于内置Z线性Scale的第三方DRO

测量显微镜功能

MM-400/800系列

新的300mm x 200mm舞台

增加机体强度可以使用更大的工作台,例如新开发的PS12x8C工作台,允许使用更大的工件。

控制器背包接口

照明,X/Y阶段和Z数据可以连接到MM控制器作为接口到运行E-Max软件的外部计算机进行数据处理和系统控制。

全白光LED照明

高强度白光LED照明器是亮场使用的标准。无灯泡更换,色温恒定,测量精度高,效率高。

非接触式高度测量技术

TTL激光对焦(通用型)
该激光对焦系统具有0.5秒的对焦速度,可重复性高达0.5µm。

重点援助(FA)
新开发的劈裂棱镜聚焦辅助(FA)提供了锐利的模式,允许在z轴测量期间精确聚焦。
最小化了由于不同目标聚焦深度不同而引起的测量误差。


FPC上的激光AF跟踪


集中


前集中


后集中

电动z轴和微观观察模式切换

带通用外燃照明器的高功率显微镜模型

这些“通用”模型结合了一个测量架与尼康最好的冶金显微镜组件的高分辨率成像和关键的测量。尼康先进的LU物镜和显微镜技术包括:亮视场,暗视场,DIC对比度,偏振和epi荧光。最多可安装5个目标在鼻塞上。此外,显微镜的重要控制,如。z轴移动、聚焦和照明切换已经实现了自动化或电动化,从而简化了成像操作,如数字图像捕获、数字视场测量和数据存储。

应用程序:

半导体封装,键合位置,回路高度,FPD面板(LCM) MEMS,晶圆级CSP,硬盘驱动器滑块


FPC的金属化图案


FFD -细胞过程


CCD


滤色器

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